作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
猪舍不同发酵床垫料氨挥发与氧化亚氮排放特征
发酵床垫料
氮素转化
物质流分析
氨挥发
氧化亚氮排放
稀释氧化亚氮速效镇痛的临床应用进展
稀释氧化亚氮
急性镇痛
护理实施
氧化亚氮与分娩镇痛
分娩
镇痛
氧化亚氮
沼液施用对潮土氧化亚氮排放通量的影响
环境科学
沼液
氧化亚氮
潮土
环境影响
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 以二硅烷和氧化亚氮为原料低温PECVD法生长的结构特征
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 二硅烷 氧化亚氮 PECVD法 SIO2 半导体膜
年,卷(期) 1996,(7) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 12-13
页数 2页 分类号 TN304.21
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1996(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
二硅烷
氧化亚氮
PECVD法
SIO2
半导体膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
出版文献量(篇)
576
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导