论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- LSI制造与测试期刊 \
ZZSX—800A型电子束蒸发设备
推荐文章
氧流量对电子束蒸发ITO薄膜特性影响的研究
氧流量
电子束蒸发
ITO
电阻率
透过率
超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用
超高真空系统
电子束蒸发
恒温控制系统
纳米技术
电子束蒸发法制备Co/Ru多层膜的微观结构与磁电阻
多层膜
微观结构
磁电阻
电子束蒸镀
电子束蒸发制备的TiO2纳米柱的乙醇气敏性能研究
TiO2纳米柱材料
乙醇传感器
电子束蒸发
掠射角沉积
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1996(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
电子束蒸发
大规模集成电路
制造工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位：
上海光学仪器研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
31-1459/TN
开本：
出版地：
上海江西中路450号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
366
总下载数（次）
0
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
