XCY—2型线宽测量仪

• 作者: 李庆祥 薛实福
• 来源期刊: LSI制造与测试
• 学科: 工学
• 关键词: 线宽测量仪 集成电路 光刻掩模
• 年，卷（期）: 1996,（6）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN407

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	薛实福	清华大学精密仪器与机械学系	8	44	4.0	6.0