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热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响
金刚石薄膜
甲烷体积分数
热丝辐射距离
拉曼光谱
热丝化学气相沉积
基于第一性原理方法研究基团在CVD金刚石薄膜(001)表面上的生长
第一性原理
CVD金刚石薄膜
基团
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化学气相沉积
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金刚石膜
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CVD金刚石
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金刚石薄膜
外延生长
CVD法
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电子材料快报
主办单位：
天津电子材料研究所
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月刊
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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