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Mylar膜衬底上的镀膜技术
M ylar膜
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TiN/AlN纳米多层膜的研究
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碳纳米管
碳纳米链
陶瓷衬底
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 不同衬底上的AlN膜
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 ALN薄膜 半导体材料 SIC薄膜
年,卷(期) 1996,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 15-16
页数 2页 分类号 TN304.2
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研究主题发展历程
节点文献
ALN薄膜
半导体材料
SIC薄膜
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电子材料快报
月刊
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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576
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