混合微电子技术用关键材料的新进展

• 作者: 程阜民
• 来源期刊: 电子工艺简讯
• 学科: 工学
• 关键词: 混合集成电路 多芯片组件 基板 材料
• 年，卷（期）: 1996,（12）
• 页码范围: 10-15
• 页数: 6页
• 分类号: TN45

摘要

概述了混合微电子技术用关键材料的种类和现状，讨论了混合微电子产品对不同材料的基本要求，分析了各种材料的特点，列出了相关材料的详细数据，指出了这些材料的发展趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程阜民		1	0	0.0	0.0