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石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势
石墨衬底
晶体取向
热导率
断裂强度
硅烷偶联剂对金刚石表面改性研究
硅烷偶联剂
金刚石
表面改性
分散性
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 金刚石膜生长前硅衬底的表面改性
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 金刚石薄膜 薄膜生长 表面改性
年,卷(期) 1996,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 5
页数 1页 分类号 TN304.18
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金刚石薄膜
薄膜生长
表面改性
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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