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合成
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用二甲基异丙基硅烷沉积立方SiC薄膜
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 半导体 SIC薄膜 硅烷 化学相沉积
年,卷(期) 1996,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 10-11
页数 2页 分类号 TN304.055
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节点文献
半导体
SIC薄膜
硅烷
化学相沉积
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电子材料快报
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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