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PLD沉积高电导金属氧化物RuO2薄膜
PLD沉积高电导金属氧化物RuO2薄膜
作者:
敏键
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PLD沉积
高导电
金属氧化物
RuO2薄膜
薄膜生长
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篇名
PLD沉积高电导金属氧化物RuO2薄膜
来源期刊
电子材料快报
学科
物理学
关键词
PLD沉积
高导电
金属氧化物
RuO2薄膜
薄膜生长
年,卷(期)
1996,(2)
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4-5
页数
2页
分类号
O484.1
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天津电子材料研究所
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月刊
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576
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