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用PACVD法在钢和金属陶瓷基体上合成TiN/TiCN/TiC表面层系
用PACVD法在钢和金属陶瓷基体上合成TiN/TiCN/TiC表面层系
作者:
康卫红
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钢
金属陶瓷
喷镀
PACVD
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篇名
用PACVD法在钢和金属陶瓷基体上合成TiN/TiCN/TiC表面层系
来源期刊
等离子体应用技术快报
学科
工学
关键词
钢
金属陶瓷
喷镀
PACVD
年,卷(期)
1996,(12)
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研究方向
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4-5
页数
2页
分类号
TG174.442
字数
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钢
金属陶瓷
喷镀
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等离子体应用技术快报
主办单位:
核工业西南物理研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
四川省成都市432信箱
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创刊时间:
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864
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2
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