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用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
作者:
肖旭萍
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离化团粒束
团粒腐蚀
等离子体沉积
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用离化团粒束实现反应性加速团粒腐蚀
来源期刊
等离子体应用技术快报
学科
工学
关键词
离化团粒束
团粒腐蚀
等离子体沉积
年,卷(期)
1996,(12)
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TG174.442
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等离子体沉积
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等离子体应用技术快报
主办单位:
核工业西南物理研究院
出版周期:
月刊
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四川省成都市432信箱
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创刊时间:
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