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文献信息
篇名 氮化铝基片生产工艺技术
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 氮化铝基片 IC 制造工艺
年,卷(期) 1997,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-3
页数 3页 分类号 TN405
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 黄岸兵 5 0 0.0 0.0
2 崔嵩 5 0 0.0 0.0
传播情况
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1997(0)
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研究主题发展历程
节点文献
氮化铝基片
IC
制造工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
总下载数(次)
46
总被引数(次)
0
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