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微机控制系统
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 STD386微型计算机控制系统在自动磁控溅射台中的应用
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 薄膜 磁控溅射台 微机控制 控制系统
年,卷(期) 1997,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-6
页数 6页 分类号 TB43
字数 语种
DOI
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 唐绍华 1 0 0.0 0.0
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1997(0)
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研究主题发展历程
节点文献
薄膜
磁控溅射台
微机控制
控制系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
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