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STD386微型计算机控制系统在自动磁控溅射台中的应用
STD386微型计算机控制系统在自动磁控溅射台中的应用
作者:
唐绍华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜
磁控溅射台
微机控制
控制系统
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文献信息
篇名
STD386微型计算机控制系统在自动磁控溅射台中的应用
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
薄膜
磁控溅射台
微机控制
控制系统
年,卷(期)
1997,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-6
页数
6页
分类号
TB43
字数
语种
DOI
五维指标
作者信息
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姓名
单位
发文数
被引次数
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1
唐绍华
1
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磁控溅射台
微机控制
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
395
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1
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