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L7814Ⅱ—/RM型钟罩炉式气氛炉的试制
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L7814Ⅱ—/RM型钟罩炉式气氛炉的试制
来源期刊
LSI制造与测试
学科
工学
关键词
冶金炉
氮气氛
钟罩炉式
气氛炉
设计
年,卷(期)
1997,(1)
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研究方向
页码范围
23-24
页数
2页
分类号
TF062
字数
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LSI制造与测试
主办单位:
上海光学仪器研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1459/TN
开本:
出版地:
上海江西中路450号
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创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
366
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