混合式PtSi—SBIRFPA的进展

• 作者: 程开富
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 硅化铂 肖特基势垒 传感器 红外焦平面阵列
• 年，卷（期）: sczkb,（1）
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TN210.3

摘要

着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程开富		3	0	0.0	0.0