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参加SPIL‘s1996微机械加工和微型制造国际学术会议的情况汇报
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| 篇名 | 参加SPIL‘s1996微机械加工和微型制造国际学术会议的情况汇报 | ||
| 来源期刊 | 上海微电子技术和应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微机械加工 微型制造 国际学术会议 微电子学 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 33-35 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TG669 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
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