一种降低半导体激光器接触电阻的有效方法

• 作者: 任大翠 王玉霞
• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 欧姆接触 接触电阻 半导体激光器 工艺
• 年，卷（期）: 1997,（4）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.4

摘要

区域接触的好坏，对高功率半导体激光器至关重要。降低接触电阻，有利于降低阈值，提高效率和延长寿命。为此，我们做了大量的实验，找到了降低区域接触电阻的最佳工艺条件，获得了小于０．０６欧姆的最低电阻。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任大翠	长春光机学院重点实验室	5	12	2.0	3.0
2	王玉霞	长春光机学院重点实验室	2	0	0.0	0.0