CCD多路开关组件的研制

• 作者: 刘心莲 程开富
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: CCD 多路开关组件 多晶硅 交迭栅 电荷耦合器件
• 年，卷（期）: 1997,（2）
• 页码范围: 10-15
• 页数: 6页
• 分类号: TN386.5

摘要

采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构，设计并研制成功了６０路ＣＣＤ多路开关动态范围≥５０ｄＢ，转移效率≥９９．９９％；非均匀性±５％；最小输入５ｍＶ；最大输入信号２Ｖ；输入积累时间１３４μｓ；串行移出时间２μｓ；输出幅度≥２Ｖ。文章阐述该器件的结构、工作原理、特点、用途、器件参数分析及影响器件因素和专项工艺研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程开富		25	104	2.0	10.0
2	刘心莲		4	0	0.0	0.0