工业用的气体团粒离子束设备

• 作者: 海韵
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 物理学
• 关键词: 气体团粒 离子束 过滤器 低损伤 表面处理
• 年，卷（期）: 1997,（2）
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: O531

摘要

已研制了工业用的３０ｋｅＶ和２００ｋｅＶ气体团粒离子束设备。有一个无冷却喷管的气体团粒源用于这两个设备上。用Ｅ×Ｂ过滤器和低引南电压的色差透镜质量过滤器充分地抑制了单体离子。这些设备适用于金属，绝缘体和半导体的低损伤表面处理，而对半导体无重金属污染。