溅射涂镀管内壁的装置

• 作者: Ensin.,W 彩虹
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射涂镀 管内壁 溅射靶
• 年，卷（期）: 1997,（2）
• 页码范围: 76-79
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.442

摘要

本文描述了用物理气相沉积涂镀管内壁的一个装置。离子束平行轴进入管内，并撞击在穿过管的圆锥溅射靶上。因而来自溅射靶的材料沉积在管壁上。用这个装置给钢管内壁涂上银，给钽管内壁涂上铂。后者有效地防止钽管与酸接触时变脆。