强流离子注入机晶片电荷积累及控制

• 作者: 陈林
• 来源期刊: LSI制造与测试
• 学科: 工学
• 关键词: 强流离子注入机 电荷积累 晶片 离子注入
• 年，卷（期）: 1997,（3）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3

摘要

分析了离子注入机中晶片电荷积累的物理机理，介绍了强流离子注入机中控制晶片电荷积累的方法，并讨论了强流离子注入机设计应注意的问题。

作者信息

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1	陈林		1	0	0.0	0.0