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文献信息
| 篇名 | 亚微米级气体输配系统污染的防治 | ||
| 来源期刊 | 工厂动力 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 亚微米级 气体输配系统 微电子产品 高洁净气体 | ||
| 年，卷（期） | gcdl_1997,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 29-36 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TN4 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
亚微米级
气体输配系统
微电子产品
高洁净气体
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相关学者/机构
期刊影响力
工厂动力
主办单位：
中国动力工程学会热力专业委员会
中国动力工程学会工业气体专业委员会
中国机械工业动力科技情报网
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市海淀区万寿路27号中国电子工程设计
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
998
总下载数（次）
9
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