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250kV,100kW等离子体离子植入装置的挑战和进展
250kV,100kW等离子体离子植入装置的挑战和进展
作者:
Mato.,JN
徐坚
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
等离子体
离子植入
表面改性
摩擦
摘要:
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文献信息
篇名
250kV,100kW等离子体离子植入装置的挑战和进展
来源期刊
国外核聚变与等离子体应用
学科
工学
关键词
等离子体
离子植入
表面改性
摩擦
年,卷(期)
1997,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
63-70
页数
8页
分类号
TG174.442
字数
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期刊影响力
国外核聚变
主办单位:
四川省核学会
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
四川省成都市432信箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
728
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