论文降重
免费查重
推荐文章
先进的离子束热处理技术和工业应用
离子注入
离子束热处理技术
工业应用
离子束增强沉积技术
离子束增强
铜膜
离子源
脉冲离子束作用下金属氚化物氦释放测量技术研究
金属氚化物
脉冲离子束
氦释放
离子束生物技术应用研究进展
离子束生物技术
植物育种
微生物育种
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 气体团粒离子束的纳米加工技术 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 气体团粒 离子束 蚀刻 半导体器件 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 75-78 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TN405.982 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1997(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
气体团粒
离子束
蚀刻
半导体器件
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外核聚变
主办单位：
四川省核学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
728
总下载数（次）
3
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
