电子工业中应用的真空技术与设备

• 作者: 董元昌
• 来源期刊: LSI制造与测试
• 学科: 经济
• 关键词: 电子工业 真空技术 设备
• 年，卷（期）: 1997,（4）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: F407.63

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董元昌		2	0	0.0	0.0