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摘要:
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用
温度监控
红外测温仪
遥控
信号发射器
信号接收器
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
杂质
介电性能
用浮力法测量金刚石膜的密度
浮力法测量
金刚石膜密度
尺度体积
浮力体积
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 金刚石膜火焰法沉积均匀化
来源期刊 磨料磨具通讯 学科 工学
关键词 金刚石膜 火焰法 气相沉积 均匀化
年,卷(期) 1997,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 3-5
页数 3页 分类号 TG732.06
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 华中杰 16 0 0.0 0.0
2 郑周 4 0 0.0 0.0
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1997(0)
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石膜
火焰法
气相沉积
均匀化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
月刊
河南省郑州市华山路121号
出版文献量(篇)
5059
总下载数(次)
9
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0
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