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谈谈非ODS清洗设备
谈谈非ODS清洗设备
作者:
邹熹
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清洗技术
ODS
清洗设备
无线电工厂
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谈谈非ODS清洗设备
来源期刊
LSI制造与测试
学科
工学
关键词
清洗技术
ODS
清洗设备
无线电工厂
年,卷(期)
1997,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
13-16
页数
4页
分类号
TN082
字数
语种
DOI
五维指标
作者信息
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姓名
单位
发文数
被引次数
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G指数
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邹熹
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1997(0)
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ODS
清洗设备
无线电工厂
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位:
上海光学仪器研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1459/TN
开本:
出版地:
上海江西中路450号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
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