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对未来加工工厂的一些考虑
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文献信息
| 篇名 | 对未来加工工厂的一些考虑 | ||
| 来源期刊 | 计算机与信息处理标准化 | 学科 | 经济 |
| 关键词 | 未来加工工厂 半导体工业 硅技术 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 66-67 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | F416.63 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
未来加工工厂
半导体工业
硅技术
研究起点
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研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
计算机与信息处理标准化
主办单位：
华北计算技术研究所
出版周期：
季刊
ISSN：
1002-8307
CN：
11-2302/TP
开本：
出版地：
北京619-32信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
262
总下载数（次）
2
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