电子元器件性能与液相外延工艺

• 作者: 张仕国 江鉴
• 来源期刊: 上海航天
• 学科: 工学
• 关键词: 电子元件 液相外延 微电子工艺 电子器件
• 年，卷（期）: 1997,（3）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TN405

摘要

分析了液相外延（ＬＰＥ）在微电子工艺中的状况及其原理，概述了ＬＰＥ在器件制造中的应用，指出了ＬＰＥ的电子元器件的优良特性，给出了ＬＰＥ在光电子领域研究中的最新成果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江鉴		3	0	0.0	0.0
2	张仕国		1	0	0.0	0.0