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摘要:
本文详细综述了国内外氮化铝粉末制备的主要方法;直接氮化法、碳热氮还原法及化学气相淀积法。通过比较不同制备方法得到高频等离子体化学气相淀积是制备氮化铝超细粒子的优良方法。
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燃烧反应
前驱物
碳热还原
氮化铝
氮化铝陶瓷粉末的制备方法及展望
氮化铝
制备
陶瓷粉末
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 氮化铝粉末的制备研究
来源期刊 上海微电子技术和应用 学科 工学
关键词 氮化铝 超细粉末 化学气相溶积 AIN陶瓷
年,卷(期) 1997,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24-30
页数 7页 分类号 TF123.34
字数 语种
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李春忠 华东理工大学技术化学物理研究所 126 1963 22.0 39.0
2 韩今依 华东理工大学技术化学物理研究所 3 35 2.0 3.0
传播情况
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1997(0)
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研究主题发展历程
节点文献
氮化铝
超细粉末
化学气相溶积
AIN陶瓷
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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0
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