氮化铝粉末的制备研究

• 作者: 李春忠 韩今依
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝 超细粉末 化学气相溶积 AIN陶瓷
• 年，卷（期）: shwdzjshyy_1997,（3）
• 页码范围: 24-30
• 页数: 7页
• 分类号: TF123.34

摘要

本文详细综述了国内外氮化铝粉末制备的主要方法；直接氮化法、碳热氮还原法及化学气相淀积法。通过比较不同制备方法得到高频等离子体化学气相淀积是制备氮化铝超细粒子的优良方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李春忠	华东理工大学技术化学物理研究所	126	1963	22.0	39.0
2	韩今依	华东理工大学技术化学物理研究所	3	35	2.0	3.0