一种超薄金属膜气体检测器

• 作者: 谢国章
• 来源期刊: 电子与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 超薄 金属膜 气体检测器 传感器
• 年，卷（期）: 1997,（1）
• 页码范围: 25-26
• 页数: 2页
• 分类号: TP212

摘要

介绍用微机械加工法制得的超薄金属膜气体检测器的结构，加工，性能和应用。