电子束光机束斑和束流的测量

• 作者: 杨立才 陈振生
• 来源期刊: 电子与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 束斑 束流 刀口法 测量放大电路 电子束曝光机
• 年，卷（期）: 1997,（2）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7

摘要

介绍了电子束曝光机束斑和束流的检测才测量放大电路的设计，讨论了了放大电路的低漂移和高抗干扰性能的保证措施。