X射线双晶衍射在微波半导体器件中的应用

• 作者: 张世敏 郝建民
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 双晶衍射 摆动曲线 计算机拟合 微波半导体器件
• 年，卷（期）: bdtzz,（1）
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TN385

摘要

通过Ｘ射线动力学理论计算的晶体摆动曲线与测试实验曲线的比较给出外延薄膜材料的结构，为器件研制了工作提供了有用的数据，证明运用Ｘ射线动力学理论计算计算机拟合能为薄膜材料成分和厚度提供无损检测手段。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝建民		13	112	7.0	10.0
2	张世敏		1	0	0.0	0.0