非球面形状在线测定系统的开发

• 作者: 王春英 铃木浩文
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 在线测量 非球面表面 光学零件 形状偏差量
• 年，卷（期）: ygjs,（1）
• 页码范围: 23-29
• 页数: 7页
• 分类号: TH740.6

摘要

为通过在线校正法加工出高精度非球面表面，其中最重要的是准确测出工件偏差。另外，在线测量可提高各种机加效率。本文讲述的是一种在线非球面高精度系统。并已用于镜面，透镜以及二者模具的加工。该系统的特点是：（１０设置在研磨的探头，其对轴对称非球面工件表面的扫描由ＮＣ（数控）程序控制，（２）接触式蓝宝石探头由空气静压轴支撑，其对工件表面的测量偏差量由ＬＶＤＴ测定。在测量试验中，所用被测物是曲率半径为２２ｍｍ