纳米颗粒薄膜的真空喷射沉积研究

• 作者: 刘定权 李强勇 赵忠 黄良甫
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米颗粒 真空喷射沉积 薄膜
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 7-14
• 页数: 8页
• 分类号: TB4
• 字数: 4410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.01.002

摘要

利用真空喷射沉积技术制备了Zn纳米颗粒薄膜,研究了工艺参数对薄膜形貌及晶体结构的影响规律,给出了颗粒尺度和外形随Ar气流量、蒸发源温度、喷嘴尺寸形状和沉积时间的变化规律,并对其机理进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄良甫		19	225	9.0	14.0
2	李强勇		7	124	5.0	7.0
3	赵忠		2	20	2.0	2.0
4	刘定权		1	5	1.0	1.0