真空镀膜技术中的电子束加热式蒸发源

• 作者: 程开富
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜 电子束加热式 蒸发源
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TB43

摘要

本文介绍了真空镀膜技术中电子束加热式蒸发源的结构、电子束加热原理、特点、优点和工作原理以及电子束加热源中电子枪坩埚的处理和电子枪冷却系统的供水问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程开富		25	104	2.0	10.0