膜片式盲小孔测头的设计与研究

• 作者: 张国雄 李书和 杨世民 韩梅妹
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 盲小孔 膜片 测头 补偿
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 142-146
• 页数: 5页
• 分类号: TB9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.1998.02.011

摘要

提出了一种弹性尺寸传递理论,并依此理论研制了膜片式盲小孔测头,以膜片为敏感元件,把测杆视为弹性体.该测头可用于测量0.3mm以上的盲小孔,精度优于1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密仪器与光电子工程学院	267	3932	30.0	48.0
2	李书和	天津大学精密仪器与光电子工程学院	5	145	5.0	5.0
3	杨世民	天津大学精密仪器与光电子工程学院	1	10	1.0	1.0
4	韩梅妹	天津理工学院电子系	1	10	1.0	1.0