稀土掺杂薄膜型气敏元件

• 作者: 元美玲 汪庆年
• 来源期刊: 电子与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 稀土氧化物 薄膜 气敏元件 气敏机理 二氧化锡
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TN389

摘要

介绍稀土掺杂薄膜型气敏元件的制作工艺和敏感性能，测试结果表明，掺Ｅｕ２Ｏ３的元件对丙酮敏感性高，而掺Ｎｄ２Ｏ３的元件对乙炔气敏感性高，文中对这类元件的气敏机理作了简单的讨论。