金属密封技术的进展

• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 卡钳 金属密封圈 真空技术 高真空元件
• 年，卷（期）: sczkb,（1）
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TB756

摘要

本文对新型高真空元件进行了介绍，如：金属密封圈、卡钳等。在真空技术国，为了减少污染，金属密封圈在高真空的获得中得到了广泛应用。金属密封连接方式能抗辐射、耐烘烤，并可运用于低温环境中。为了在有限的通道空间中节省安装时间，卡钳已经被用于固定快速释放法兰接头，以及带铜垫圈的标准合并法兰。现在介绍的是一种改进型ＣＥ兼容垫圈，它由三种不同的材料（铝、铜和镍）制成，可减小所需的密封力。本文还介绍了一种改进后适