Ti-B超硬薄膜的合成及其显微结构和显微硬度的研究

• 作者: 周平南 李莹 杨晓豫 蔡珣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束增强沉积 超显微硬度 Ti-B超硬薄膜
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 170-175
• 页数: 6页
• 分类号: TB4
• 字数: 3541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.03.002

摘要

采用离子束增强沉积方法,在p型(100)单晶硅衬底上,通过不同能量的氙离子辅助轰击,以不同的沉积速率制备了Ti-B超硬薄膜.X射线衍射分析结果表明,Ti-B薄膜呈TiBx多晶结构,其晶化程度随蒸发速率的不同而变化,而其缺位值x随氙离子轰击能量的不同而变化.超显微硬度的测试结果表明,氙离子束能量为60keV,沉积速率为0.6nm/s时,可以获得性能最佳的Ti-B超硬薄膜,其本征硬度在测试负荷为5 mN时达28.6 GPa,超过了TiB体材料的硬度水平,是衬底硅片的3.2倍.利用SEM观察了Ti-B薄膜的横断面,并讨论了工艺参数对Ti-B超硬薄膜韧性的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡珣	上海交通大学国家教委高温材料及高温测试开放实验室	76	873	16.0	25.0
2	周平南	上海交通大学国家教委高温材料及高温测试开放实验室	5	25	3.0	5.0
3	李莹	上海交通大学国家教委高温材料及高温测试开放实验室	17	87	4.0	9.0
4	杨晓豫	上海交通大学国家教委高温材料及高温测试开放实验室	4	72	4.0	4.0