压电驱动二维超精密微动工作台定位补偿系统的研究

• 作者: 姚英学 朱喜林 袁哲俊 高鹏
• 来源期刊: 宇航学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 压电驱动 工作台 定位 补偿
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 28-31
• 页数: 4页
• 分类号: V4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1328.1998.04.005

摘要

本文首先介绍了压电驱动二维微动工作台定位补偿系统的结构特点,然后对微动工作台的性能进行了分析,给出了性能实测结果,最后研究了系统在超精密定位补偿方面的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁哲俊	哈尔滨工业大学机械工程系	72	1481	23.0	36.0
2	姚英学	哈尔滨工业大学机械工程系	136	2556	28.0	41.0
3	高鹏	北京航空航天大学计算机系	12	90	4.0	9.0
4	朱喜林	吉林工业大学机械工程系	1	13	1.0	1.0