用微波等离子体源SLANⅡ的远距离清洗和直接清洗

• 作者: 火苗
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体源 等离子体清洗 远距离
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 页码范围: 76-79
• 页数: 4页
• 分类号: O531

摘要

有一个用作等离子体室的石英管的２．４５ＧＨｚ窄缝天线微波等离子体源已用于从远距离等离子体中的玻璃基体去除有机润滑剂，有选择地用一个无距离笼把直接在石英管壁的初始放电与工艺室中的扩散本体等离子体开来，地于有和没有远距离笼的源型，研究了离子浓度的径向和轴向分布和去除率。一般的工艺条件是：功率为４ｋＷ、压强为－２５Ｐａ氧流率１００ｓｃｃｍ。对于直接等离子体和远距离等离子体。测得的离子浓度分别为８×１０６