4英寸（111）硅单晶制备中的“断棱”与“掉苞”问题

• 作者: 纪秀峰 裴志军
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 固液界面 直拉 晶体生长 硅
• 年，卷（期）: bdtzz_1998,（3）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.12

摘要

放肩前形成一个完全无位错的晶核，等径生长过程使固－液界面平坦是硅无位错晶体生长保持过程中的关键问题，据此讨论人析了Φ４英寸（１１１）硅单晶中易出现的放肩“断棱”，等径过程中“掉苞”问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	裴志军		2	0	0.0	0.0
2	纪秀峰		1	0	0.0	0.0