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论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响
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摘要：
为了研究真空系统中烘烤时对出气率与抽速关系的影响，在室温条件下未经烘烤和在室温条件下经过温度为１００℃和２５０℃烘烤的情况下，对出气率与抽速的关系进行了测量。测量所得出气率ｑ（Ｔｏｒｒ，ｌ／ｓ，ｃｍ＾２）遵循指数规律：ｑ＝（Ｃｓ／Ａ）＾ｍ，其中，ｃ和ｍ（０〈ｍ〈１）为常数：Ｓ／Ａ为抽气参数，其定义为抽速Ｓ（ｌ／ｓ）与真空容器表面积Ａ（ｃｍ＾２）之比，Ｓ／Ａ的变化范围从２．４６×１０＾－５到１．２６
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文献信息
| 篇名 | 论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响 | ||
| 来源期刊 | 四川真空 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 出气率 烘烤影响 抽速关系 真空系统 不锈钢 | ||
| 年，卷（期） | sczkb_1998,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 52-56 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TB753 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
出气率
烘烤影响
抽速关系
真空系统
不锈钢
研究起点
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研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市第109信箱207分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
395
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