钛表面气体氮化的工艺研究

• 作者: 夏志华 贾翎
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: 钛 表面氮化 氮化钛
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 295-299
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.1998.04.013

摘要

研究了氮化温度、氮化时间、氮气压力和流量等因素对钛氮化反应的影响,确定了钛表面气体氮化的工艺参数, 并对氮化覆层的相组成及各项性能进行了研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏志华		7	201	5.0	7.0
2	贾翎		1	16	1.0	1.0