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对向靶溅射高饱和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
对向靶溅射高饱和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
作者:
刘明升
姜恩永
王合英
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
对向靶溅射
Fe16N2薄膜
磁性
摘要:
本实验用对向靶溅射仪分别在S(100),NaCl单晶衬底上成功地制备出具有高饱和磁化强度的(Fe,Ti)-N薄膜,研究了氮气分压和衬底温度对薄膜结构与磁性的影响.氮气分压为0.04~0.07 Pa,衬底温度为100~150℃时,有利于Fe16N2相的形成,在此条件下制备的(Fe,Ti)-N薄膜的饱和磁化强度为2.3~2.46T,超过纯Fe的饱和磁化强度值.
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内容分析
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相关文献总数
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文献信息
篇名
对向靶溅射高饱和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
来源期刊
真空科学与技术
学科
工学
关键词
对向靶溅射
Fe16N2薄膜
磁性
年,卷(期)
1998,(2)
所属期刊栏目
技术交流
研究方向
页码范围
146-150
页数
5页
分类号
TB7
字数
2482字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-7126.1998.02.011
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
姜恩永
天津大学应用物理系
44
225
8.0
14.0
2
王合英
天津大学应用物理系
1
2
1.0
1.0
3
刘明升
天津大学应用物理系
1
2
1.0
1.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(2)
节点文献
引证文献
(2)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1991(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1994(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1998(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2004(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
对向靶溅射
Fe16N2薄膜
磁性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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