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摘要:
本实验用对向靶溅射仪分别在S(100),NaCl单晶衬底上成功地制备出具有高饱和磁化强度的(Fe,Ti)-N薄膜,研究了氮气分压和衬底温度对薄膜结构与磁性的影响.氮气分压为0.04~0.07 Pa,衬底温度为100~150℃时,有利于Fe16N2相的形成,在此条件下制备的(Fe,Ti)-N薄膜的饱和磁化强度为2.3~2.46T,超过纯Fe的饱和磁化强度值.
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成分
晶格常数
饱和磁化强度
矫顽磁力
基片温度对Fe-N化合物薄膜制备及磁性能的影响
基片温度
Fe-N薄膜
晶粒取向
磁性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 对向靶溅射高饱和磁化强度(Fe,Ti)-N薄膜
来源期刊 真空科学与技术 学科 工学
关键词 对向靶溅射 Fe16N2薄膜 磁性
年,卷(期) 1998,(2) 所属期刊栏目 技术交流
研究方向 页码范围 146-150
页数 5页 分类号 TB7
字数 2482字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.02.011
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 姜恩永 天津大学应用物理系 44 225 8.0 14.0
2 王合英 天津大学应用物理系 1 2 1.0 1.0
3 刘明升 天津大学应用物理系 1 2 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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二级参考文献  (0)
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参考文献  (2)
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1991(1)
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1994(1)
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1998(0)
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2004(2)
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  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
对向靶溅射
Fe16N2薄膜
磁性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导