CFZ单晶的生产及特点

• 作者: 昝兴利 李翔 林键 汪雨田 沈浩平 纪秀锋
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 硅单晶 掺杂 CFZ法
• 年，卷（期）: bdtzz_1998,（3）
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.12

摘要

本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法，通过大量实验对ＣＦＺ法生产技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。