IC生产氢气供应现场设备化

• 作者: 田智坤
• 来源期刊: 工厂动力
• 学科: 工学
• 关键词: IC工厂 制氢装置 现场设备化 HHOG制氢
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TQ116.2

摘要

本文阐述了日本坂神大地震后，ＩＣ工厂氢气供应现场设备化的必要性，可能性，文内对几种制氢装置的适应性，技术特性进行比较，推荐ＨＨＯＧ固体高分子电解质膜纯水电解制氢装置作为ＩＣ工厂的现场制氢装置。