Φ125 mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

• 作者: 万关良 吴志强 常青 张果虎 方锋 秦福 郝玉清
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: Φ125 mm硅单晶 氧径向均匀性 热场 晶转速度 石英坩埚转速
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 466-468
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 字数: 1831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.017

摘要

为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万关良		4	86	3.0	4.0
2	吴志强		6	40	3.0	6.0
3	常青		7	29	3.0	5.0
4	张果虎		5	26	3.0	5.0
5	方锋		4	11	2.0	3.0
6	郝玉清		1	2	1.0	1.0
7	秦福		2	2	1.0	1.0