场效应气敏传感器的研究进展

• 作者: 田敬民
• 来源期刊: 电子与仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏传感器 场效应晶体管 传感器阵列
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TN389

摘要

叙述了场效应气敏器件的基本理论和重要研究方向－高温场效应气敏器件和阵列式智能气体传感器。